臭氧半导体传感器是一种将臭氧气体的成份、浓度等信息转换成可以被人员、仪器仪表、计算机等利用的信息的装置。它是利用半导体材料的特性，当臭氧气体吸收到半导体材料上时，会发生氧化和还原反应，产生热量改变元件的温度，从而改变电阻，将臭氧浓度转换为电信号，并测量臭氧浓度。

半导体臭氧传感器具有灵敏度高、选择性好、响应速度快、寿命长、对湿度敏感低和电路简单等优点，但它也有一些不足之处，例如需要工作于高温下、对气味或气体的选择性差、元件参数分散、稳定性不够理想、功率要求高等。

根据不同的检测原理，臭氧传感器一般可分为紫外线、半导体、电化学三大类型。其中，紫外线传感器虽然可以实现臭氧的检测，但由于其灵敏度较低、易受光源影响等缺点，已经逐渐被其他类型的传感器取代。

半导体臭氧传感器是目前应用最广泛的臭氧传感器之一，它具有制造简单、成本低廉、灵敏度高、响应速度快、寿命长等优点。该传感器的工作原理是利用气敏半导体材料吸收臭氧后发生氧化还原反应，改变元件的温度和电阻，将臭氧浓度转换为电信号。半导体臭氧传感器有多种类型，包括单电阻式、双电阻式、温度补偿式等，其中温度补偿式传感器的灵敏度和选择性较好，但其工作温度范围较窄。

电化学臭氧传感器基于电化学原理，通过在传感器的工作电极和对电极上产生相应的氧化还原反应，释放电荷并形成电流，从而实现对臭氧浓度的测量。电化学臭氧传感器具有快速响应、高灵敏度、宽测量范围等优点，但其制造成本相对较高，而且对湿度敏感。

总的来说，臭氧半导体传感器具有灵敏度高、选择性好、响应速度快、寿命长等优点，但也存在一些不足之处，因此需要根据具体的应用场景和要求来选择合适的传感器类型。