背景：

MEMS气体传感器不同于其他的物理类气体传感器芯片。它涉及化学、材料、自动化、精密仪器、电子、半导体制造、软件与算法等多种学科中的技术。这就导致其制造难度大，工艺流程复杂。

MEMS气体传感器介绍：

目前，应用市场上的MEMS气体传感器大多以单晶硅材料为基底，MOS金属氧化物组份为气体敏感元件。当气敏元件暴露在有被测气体的空气中，气体会与它们发生作用，引起电导率或电阻率的变化，产生包含气体成分和浓度的电信号，经过信号处理电路处理后，即可识别气体的成分和浓度。

MEMS采用微电子技术中的成膜工艺，在硅衬底上淀积金属氧化物敏感层，利用敏感层下的电阻做加热器，利用二极管做测温元件，必要的信号电路和读出电路也可以集成在同一硅芯片上。

MEMS微气体传感器的特点在于将加热电极、绝缘层和测试电极一层一层依次堆积叠加在一起。

技术水平的不断进步，使得市场上对小体积、低功耗、智能化、模块化的气体传感器的需求越来越大，特别是在物联网等泛在应用的推动下，MEMS传感器的应用空间也越来越广阔。

应用：

基于MEMS工艺的半导体敏感材料(MOS)开始在智能家电、智能家居、移动穿戴、物联网环境监测、楼宇控制以及医疗健康早期筛查等的气体检测领域广泛应用。

一直以来，气体传感器在物联网发展中扮演关键角色，采暖、通风和空调（HVAC）系统、空气净化器、智能窗户、汽车、医疗器械、大气环境监测、石油化工产业等等各种行业都有气体传感器的身影。